SONIX-超声波扫描显微镜

特点

● SONIX^TM Echo-LS 能检测到小至0.05um 的缺陷，而且对于bump、叠die(3D 封装)、倒装芯片及各种传统的塑料封装等具有卓越的检测性能。

● 提高生产效率和产量，使用ECHO 的设备和软件：

（1）容易的设置和使用

（2）工艺过程监测

（3）合格/失效分选

（4）专业认证

● SONIX^TM 扫描探头频率范围从10MHz 到300MHz,适合各种类型的应用和材料。

其它关键特点

● 减少实验室空间（占地面积小） 

● 键盘快捷键（方便移动操作）

● 全焊接机身框架（促进平台稳定性）

● 探头随Z 轴移动（取代托盘上下移动）

● 降低水槽高度（人体工程学设计） 

● 符合欧洲机械指令

● 可滑动支架

● 水槽底部倾斜（易于排干水）

● 可同时进行反射扫描和透射扫描

● 超大扫描面积

● 紧凑、稳定的结构设计（低维护） 

● 最大360 度可视

● 可滑动的电气面板（方便维护） 

● 符合CE,SEMI S2,NRTL

● 防静电涂层（安全罩、水槽、门等）

关键参数

（一）、扫描轴（X 轴）：

定位装置： 线性伺服马达

最大速度：1000mm/sec

重复精度：+/-0.5um 

编码器分辨率：0.5um

最大扫描区域：350mm

（二）、步进轴（Y 轴）：

最大扫描区域：350mm 

分辨率：0.25um

定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

（三）、聚焦轴（Z 轴）：

最大行程：50mm 

分辨率：0.25um

定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

（四）、夹具：

JEDEC 标准尺寸托盘夹具

扫描平台可固定特有的托盘夹具

透射杆探头固定

（五）、流体系统：

循环泵和5um 过滤器

（六）、超声波仪器：

Pulse 2 信号发生器/ 接收器

可选Pulse2-U 超高频脉冲发生/接收器

（七）、显示器：

23 英寸液晶显示器

可以支持两个显示器

（八）、机台尺寸：

W31”xD31”xH48’’(约长79cm*宽79cm*高122cm)

（九）、其它：

带脚轮的摆放桌

紧急开关和安全锁

较低的取放样品区域

五、WinICTM 操作软件

ECHOTM 机台面板与WinICTM 软件的组合，给用户提供一个强大、简易使用的分析工具。WinICTM 软件是Sonix 公司独家研发的超声波扫描显示镜成像软件，使用于Windows 7 操作系统。

WinICTM 软件提供先进的图像，分析功能以帮助定量和定性分析图像数据。WinICTM 使用大量的图形和屏幕指导帮助所有用户，从入门到精通。

六、其它特色软件功能选项

￭ TAMITM SCAN:一次扫描得到最多100 张断层图像

￭ ICEBERGTM :强大的离线分析技术

￭ WinICTM Pro:增加功能和分析

￭ WinICTM Offiline：远程分析

￭ Waveform SimulatorTM/Beam EmulatorTM ：波形仿真器