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4200A-SCS 参数分析仪
亲眼见证创新！ 4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。
4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。
亲眼见证创新！ 4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。
4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。
主要性能指标
I-V 源测量单元(SMU)
● ± 210 V/100 mA 或± 210 V/1 A 模块
● 100 fA 测量分辨率
● 选配前端放大器提供了10 aA测量分辨率
● 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
● 100 mF 负载电容
● 四象限操作
● 2 线或4 线连接
C-V 多频率电容单元(CVU)
● AC 阻抗测量(C-V, C-f, C-t)
● 1 kHz - 10 MHz 频率范围
●± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
●选配CVIV 多通道开关，在I-V 测量和C-V 测量之间简便切换
脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
● 两个独立的或同步的高速脉冲I-V 源和测量通道
● 200 MSa/s，5 ns 采样率
● ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
● 瞬态波形捕获模式
● 任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
● 两个高速脉冲电压源通道
● ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
● 任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
● 在I-V测量和C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
● 把C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针
● 支持±210 V DC 偏置源
远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
● 在I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲I-V 测量之间自动切换
● 把4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
● 降低电缆电容效应
为材料、半导体器件和工艺开发提供优秀的参数分析仪
半导体电性能测试系统