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MK.4TE ESD 和闩锁测试系统是一个完整、可靠并且功能丰富的全方位仪器测试封装,可对具有高达 2304 个引脚的器件执行自动和手动 HBM、MM 和闩锁测试。其特点是具有最快的测试执行速度、最低的切换间隔和大规模并行运行,可实现并发切换,并具有交叉描记测试功能,符合全球和公司质量标准。
MK.4TE ESD 和闩锁测试系统是一个完整、可靠并且功能丰富的全方位仪器测试封装,可对具有高达 2304 个引脚的器件执行自动和手动 HBM、MM 和闩锁测试。其特点是具有最快的测试执行速度、最低的切换间隔和大规模并行运行,可实现并发切换,并具有交叉描记测试功能,符合全球和公司质量标准。
• 基于快速继电器的操作—多达2304个通道
• 固态矩阵拓扑,可实现快速易用的测试操作
• 闩锁激励和器件偏置
• 具有获得专利的HV隔离功能的高电压电源箱可实现出色的脉冲源性能
• 具有六个单独矢量驱动级别的高级器件预调节
• 大规模并行运行可推动实现非凡的测试和通量速度
• 满足全球对更小、更快、更智能器件的测试需求
三十年的发展 — 世界各地制造厂和测试站的 IC 结构设计师和 QA 计划经理一直青睐 Thermo Scientific™ MK.4TE™ 测试系统,因为它是一种通用、功能强大并且灵活的高产测试系统。MK.4TE 测试系统可以轻松升级,能够让您的测试操作完全符合不断发展的法规和质量标准。
MK.4TE 测试系统的基于快速继电器(模块化矩阵)的高级硬件比机械驱动式 ESD 测试仪平均快十倍。开关矩阵在提供一致的ESD 路径的同时,还允许任意引脚接地、浮动、矢量化或连接到已安装的任意 V/I 电源。此外,高级算法可依据现行的 JEDEC/ESDA 后沿脉冲标准确保精确地开关 HV,以支持脉冲源技术。
功能强大、运行速度极快的嵌入式 VME 控制器推动实现了可行的最高测试执行速度。嵌入式控制器与测试仪的 PC 服务器之间的数据传输通过 TCP/IP 通信协议进行处理,最大限度地缩短了数据传输时间。可以通过内部网络访问测试仪的 PC 服务器,也可以通过 Internet 进行访问,从而可以远程访问系统以确定系统的状态或收集结果信息。
MK.4TE 测试系统可以配备多达八个 100V 四象限电压和电流 (V/I) 电源。每个 V/I 电源都具有宽动态范围,因而可以在100 mV/10 A 至 100 V/1 A 的高电流电平下强制测量极低的电压。该系统的电源矩阵可以传输总共高达 18A 的电流,这一总电流分布在已安装的各电源之间。这些电源在为 DUT 提供全面控制和保护的同时,还提供一种快速而通用的方法用于进行 DC参数和泄漏测量并提供闩锁脉冲。
MK.4TE 测试系统提供可用的最先进器件预调节功能。可以使用复杂矢量模式使 DUT 矢量化,从而对器件提供出色的控制。每个引脚都可以使用六个不同的矢量电源之一进行驱动。模式深度可高达 256k,以高达 10 MHz 的时钟速度运行。器件调节可以使用每个引脚上都可用的回读比较功能轻松验证。
基于 Windows® 的 MK.4TE Scimitar 操作软件能够让用户根据行业标准或公司推行的要求灵活而轻松地设置测试。可以通过导入测试仪 PC 服务器上现有的基于文本的器件文件或从包含该应用程序的卫星 PC 上脱机导入该文件来创建器件测试计划。软件还提供用于从先前的 Thermo Scientific 测试系统导入测试计划和器件文件的功能。
通过允许从先前的 Thermo Scientific 测试系统中导入现有的矢量文件,可以简化器件预调节文件的创建过程。也可以将正常运行的测试仪上的测试矢量导入到应用程序中。当然,矢量应用程序允许手动创建和调试矢量文件。
器件测试计划和结果存储在 XML 数据库中,从而提供了无与伦比的结果处理、排序和数据挖掘功能。
MK.4TE 软件支持使用多位置脉冲源设计,一次可以对多达12 个器件进行 ESD 测试。嵌入式 VME 电源消除了使用独立式电源时将会出现的任何通信延迟。嵌入式参数(曲线描记)电源还提供快速、精确的曲线描记数据以帮助您分析器件性能。
也可以将系统曲线描记器用作失效分析工具,通过将存储的已知正常的结果与来自新测试样品的结果进行比较进行失效分析。
电子器件和电气产品的 ESD 和闩锁测试可能是设计和制造过程中极其昂贵的方面。当市场对更小、更快、更智能产品的需求成为常态时,情况更是如此。MK.4TE 测试系统利用我们在三十多年测试系统实践中积累的技术和专有知识以及我们对主管这些变化的全球主管当局的深度参与和贡献,使得当今的产品满足全球和行业推行的质量标准。
客户成功的真正关键在于预测未来需求,并确保我们的客户拥有快速发展以便经济高效地应对所有变化因素的能力。
因此,MK.4TE 测试系统战略性设计并可在现场升级的架构可确保在测试系统极长的生命周期内获得巨大的投资回报,并可实现更好的短期和长期质量以及 ESD 和闩锁测试经济性。
• 摘要面板,可以在器件组成部分之间轻松导航
• 关于多步骤用户操作的向导式提示
• 通过使用 Scimitar 的用户可编程插件功能,不但可以控制外部器件,还可以控制事件触发器输出,后者为外部器件(例如电源)提供 TTL 控制信号或提供用于触发示波器的控制信号
• 可以在可执行测试计划内的任意位置定义并布置灵活的参数式测试
• 提供以下功能的综合结果查看器:
– ESD 和静态闩锁数据查看功能
– 具有缩放功能并可以添加用户注释的曲线查看器
– 按以下标准进行数据过滤:失败的引脚、失败的结果、最终应力水平和用户可选的其他选项
– 使用用户定义参数的完整结果集合或子集
– 按各种列标准进行升序或降序排序
• 测试和测试计划的树形逻辑视图
• 灵活的数据存储,可以让最终用户查询数据
• 无缝支持现有的 ZapMaster、MK.1、MK.2、MK.4 和 Paragon测试计划
• 对最新 JS-001 测试标准的全面支持
• 使用符合标准测试模型的脉冲诱发闩锁条件的功能(TLU 测试类型)
• 对第三方仪器的仪器支持 — 示波器、源 — 测量计单元、电源、热流等
• 逼真演示接受测试的封装。提供各种用于将轮廓导入到新测试计划或现有测试计划的源
• 各种器件和结果数据可视化工具;全面的波形和统计数据分析工具
• 通过曲线对曲线和相对点对点对比进行曲线描记
• 脱机曲线分析,包括第三方生成的曲线描记
• 能够对照先前存储的已知正常描记进行曲线对比
• 可以使用已编程器件和功率级知识自动定义的现成 JESD78测试
• 暂停/ 恢复测试功能
• 中间结果查看 — 暂停,查看结果然后继续
• 使用插件和嵌入式 EvaluWave 软件功能实现自动波形捕获功能和分析
半导体环境应力
可靠性